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发明名称 VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINER HALBLEITERANORDNUNG MIT KRISTALLDEFEKTEN
摘要
申请公布号 DE69621385(D1) 申请公布日期 2002.07.04
申请号 DE19966021385 申请日期 1996.02.19
申请人 ROHM CO. LTD., KYOTO 发明人 SAKAMOTO, LTD.
分类号 H01L21/26;H01L21/263;H01L21/322;H01L21/329;H01L21/331;H01L21/336;H01L29/32;H01L29/73;H01L29/732;H01L29/78;H01L29/861;(IPC1-7):H01L21/26 主分类号 H01L21/26
代理机构 代理人
主权项
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