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发明名称 METHOD AND APPARATUS TO REDUCE CONTAMINANTS FROM SEMICONDUCTOR WAFERS
摘要
申请公布号 EP1218925(A1) 申请公布日期 2002.07.03
申请号 EP20000950979 申请日期 2000.08.03
申请人 APPLIED MATERIALS, INC. 发明人 OUYE, ALAN, HIROSHI
分类号 H01L21/304;H01L21/00;(IPC1-7):H01L21/00 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
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