| 发明名称 |
Process for projection exposure of a workpiece with alignment marks on the rear side and device for executing the process |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0769726(B1) |
申请公布日期 |
2002.07.03 |
| 申请号 |
EP19960116765 |
申请日期 |
1996.10.18 |
| 申请人 |
USHIODENKI KABUSHIKI KAISHA |
发明人 |
TANAKA, YONETA |
| 分类号 |
G03F9/00;H01L21/027;H05K3/00;(IPC1-7):G03F9/00 |
主分类号 |
G03F9/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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