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发明名称 INTEGRATED CIRCUITS WITH BARRIER LAYERS AND METHODS OF FABRICATING SAME
摘要
申请公布号 EP1218928(A1) 申请公布日期 2002.07.03
申请号 EP20000964977 申请日期 2000.09.12
申请人 SYMETRIX CORPORATION 发明人 JOSHI, VIKRAM;SOLAYAPPAN, NARAYAN;MCMILLAN, LARRY, D.;PAZ DE ARAUJO, CARLOS, A.
分类号 H01L21/8247;H01L21/02;H01L21/285;H01L21/316;H01L21/768;H01L21/8246;H01L27/105;H01L29/51;H01L29/788;H01L29/792;(IPC1-7):H01L21/02;H01L27/08 主分类号 H01L21/8247
代理机构 代理人
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