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发明名称 SHIELDING AGAINST EXTERNAL EXCITATIONS WHILE MEASURING OSCILLATORY SEMICONDUCTOR MEMBRANES
摘要
申请公布号 EP1218799(A1) 申请公布日期 2002.07.03
申请号 EP20000964148 申请日期 2000.09.08
申请人 LEICA MICROSYSTEMS SEMICONDUCTOR GMBH 发明人 STACH, GERD;STRUCK, THOMAS
分类号 G03F1/00;H01L21/027;(IPC1-7):G03F1/00;G03F1/14 主分类号 G03F1/00
代理机构 代理人
主权项
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