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发明名称 LINE NARROWING UNIT FOR HIGH POWER GAS DISCHARGE LASER
摘要
申请公布号 EP1218985(A1) 申请公布日期 2002.07.03
申请号 EP20000959882 申请日期 2000.08.31
申请人 CYMER, INC. 发明人 CYBULSKI, RAYMOND, F.;ERSHOV, ALEXANDER, I.;ONKELS, ECKEHARD, D.;DAS, PALASH, P.;RICHARDSON, DANILO, D.;BUCK, JESSE, D.
分类号 H01S3/225;G03F7/20;H01S3/03;H01S3/034;H01S3/036;H01S3/04;H01S3/08;H01S3/081;H01S3/086;H01S3/13;H01S3/134;H01S3/137;H01S3/139;(IPC1-7):H01S3/22 主分类号 H01S3/225
代理机构 代理人
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