| 摘要 |
<p>Die Erfindung betrifft ein Mikroskop mit einer Umschaltungsmöglichkeit für wahlweises Arbeiten im fernen ultravioletten DUV-Spektralbereich oder im sichtbaren VIS-Spektralbereich, mit einem verstellbaren Tubuslinsenwechsler mit mindestens einer DUV-Tubuslinse (17a) für den fernen ultravioletten DUV-Spektralbereich sowie mindestens einer VIS-Tubuslinse (17b) für den sichtbaren VIS-Spektralbereich und mit einem Reflektorträger (13) mit mehreren wahlweise in den Beleuchtungsstrahlengang einbringbaren Reflektoren (12). Der Reflektorträger (13) einerseits und der Tubuslinsenwechsler (16) andererseits sind erfindungsgemäß derart mechanisch miteinander gekoppelt, dass in Abhängigkeit vom gewählten Spektralbereich beim Einstellen des Reflektorträgers (13) im Beleuchtungsstrahlengang auf einen bestimmten Reflektor (12) automatisch der Tubuslinsenwechsler (16) so verstellt wird, dass dieser eine dem Reflektor (12) und dem gewählten Spektralbereich entsprechende Tubuslinse (17) in der optischen Achse (15) anordnet. <IMAGE></p> |
