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经营范围
发明名称
CAPACITIVE PRESSURE SENSOR
摘要
申请公布号
EP1218715(A1)
申请公布日期
2002.07.03
申请号
EP20000967036
申请日期
2000.09.28
申请人
MKS INSTRUMENTS, INC.
发明人
LUCAS, PAUL, D.
分类号
G01L9/00;G01L9/12;G01L19/04;G01L19/14;(IPC1-7):G01L19/04
主分类号
G01L9/00
代理机构
代理人
主权项
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