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发明名称
用于处理扁平易碎的基质的装置
摘要
一种关于处理扁平易碎的基质的装置,其中该装置(2)在一处理室中施以一处理液(14),为此,这些基质被一运送装置(3)在多数互相平行的走道中被导引水平通过该处理室。至少有一个对持装置(7)(22)搭在基质(2)之朝上的那一侧,并防止基质从运送装置(3)升起。为此将数个对持元件(7)固定在一共通轴(22)上,该轴搭住不同的走道,使得这些对持元件可沿垂直方向互相独立地运动且因此可将一股压力施到该基质(2)上,此压力大致与基质厚度无关。
申请公布号
TW200812888
申请公布日期
2008.03.16
申请号
TW096126280
申请日期
2007.07.19
申请人
霍尔慕勒机械工程公司
发明人
托马斯 寇西可斯奇
分类号
B65G49/05(2006.01);H01L21/67(2006.01)
主分类号
B65G49/05(2006.01)
代理机构
代理人
桂齐恒;阎启泰
主权项
地址
德国
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