伺服器装置及记录媒体

摘要

以往，无法过滤以制品晶圆片数所测定之资讯而构成图表。本发明可藉由伺服器装置来过滤以制品晶圆片数所测定之资讯而构成图表，该伺服器装置具备：指示受理部，其系储存有复数测定资讯，该测定资讯系有关在复数制造装置测定之资讯之时间序列资讯，系具有制品晶圆片数及时刻资讯之资讯，并受理包含制品晶圆片数之图表之输出指示；异常检测部，其系于指示受理部受理到输出指示之情况下，读出与该输出指示所包含之制品晶圆片数条件一致之复数测定资讯，判断该读出之复数测定资讯是否与条件资讯一致；输出资讯构成部，其系构成对应异常检测部之判断结果之输出资讯；及输出部，其系输出前述输出资讯构成部所构成之输出资讯。