| 摘要 |
为将气泡少之液状物质、特别是几乎不含超过预定直径之液状物质供给至被涂布构件，液状物质供给装置系包含有：一加压槽，将较大气压力高之正压力施加于液状物质；一注射器，具有用以吐出前述液状物质之喷嘴；一流路构件，形成使前述液状物质从前述加压槽流通至前述注射器之流路，该液状物质供给装置并包含有：一阀构件，设置于前述流路构件途中，以开关前述流路；一气泡去除用过滤器，位于前述注射器与前述阀构件间之前述流路构件途中，以从流经前述流路构件之前述液状物质去除气泡及；一压力施加机构，选择性地将较大气压力高之第1压力或较大气压力低之第2压力施加至前述注射器内，以开始或停止前述喷嘴所进行之前述液状物质之吐出。 |
