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发明名称
摘要
申请公布号 JP3298223(B2) 申请公布日期 2002.07.02
申请号 JP19930089607 申请日期 1993.04.16
申请人 发明人
分类号 H01L21/28;H01L49/02;(IPC1-7):H01L49/02 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
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