| 主权项 |
1.一种碳膜所涂膜塑胶容器之制造装置,其特征为,具备有:为收容容器而形成,设有与前述容器之外壁面维持着140mm以下间隔之形状之空间的中空状外部电极,及当容器收容于该外部电极之空间内时,该容器之口部挡接之同时,绝缘外部电极之绝缘构件,及被接地而从容器之口部插入收容于外部电极之空间内之容器内侧的内部电极,及连通于外部电极之空间内而排出空间内气体之排气装置,及对收容于外部电极之空间内的容器内侧供给原料气体之供给装置,及连接于外部电极之高频电源者。2.如申请专利范围第1项之碳膜所涂膜塑胶容器之制造装置,其中,前述内部电极之外形系形成为与前述容器之内壁面维持着140mm以下间隔之形状。3.如申请专利范围第1项之碳膜所涂膜塑胶容器之制造装置,其中,前述内部电极形成有原料气体之喷出孔,从前述供给装置所供给之原料气体,系从内部电极之喷出孔喷出于收容在外部电极空间内之容器内者。4.如申请专利范围第3项之碳膜所涂膜塑胶容器之制造装置,其中,前述内部电极之喷出孔为可形成有一个或复数个者。5.如申请专利范围第1项之碳膜所涂膜塑胶容器之制造装置,其中,前述绝缘构件形成沟部,收容于外部电极空间内容器之口部挡接于该绝缘构件时,形成在外部电极之内壁面与容器之外壁面之间的空间,和容器之内部为由沟部而连通者。6.如申请专利范围第1项之碳膜所涂膜塑胶容器之制造装置,其中,前述容器为饮料用瓶子者。7.一种碳膜所涂膜塑胶容器之制法,其特征为,在外部电极形成收容容器而与前述容器之外壁面维持着140mm以下间隔之形状之空间,以收容于该空间内之容器的口部挡接之绝缘构件绝绝外部电极,从容器之口部插入内部电极于收容于空间内之容器之内侧的同时,将该内部电极予以接地,排出外部电极空间内之气体,对收容在外部电极空间内之容器之内侧供给原料气体之后,对外部电极施加高频者。8.如申请专利范围第7项之碳膜所涂膜塑胶容器之制法,其中,前述容器为饮料用瓶子者。9.如申请专利范围第7项之碳膜所涂膜塑胶容器之制造方法,其中系将前述外部电极之内面,形成为与前述容器之外壁面维持着140mm以下间隔之形状,并且,将前述外部电极之内面,形成为与前述容器之内壁面维持着140mm以下间隔之形状。10.如申请专利范围第7项之碳膜所涂膜塑胶容器之制法,其中,在前述绝缘构件上形成沟部,藉该沟部而将容器之内部空间以及容器之外壁面与外部电极之内壁面之间的外部空间亦同时排气者。11.如申请专利范围第10项之碳膜所涂膜塑胶容器之制法,其中,在前述容器之外壁面与外部电极之内壁面之间的外部空间刚排气之后,对收容于外部电极之空间内的容器内侧供给原料气体者。12.如申请专利范围第7项之碳膜所涂膜塑胶容器之制法,其中,对塑胶容器涂膜碳膜之前,用无机气体实行等离子处理者。13.如申请专利范围第7项之碳膜所涂膜塑胶容器之制法,其中,外部电极之空间内之排气的真空度为10-2-10-5 torr者。图式简单说明:图1为显示制造本发明碳膜所涂膜塑胶容器用之制造装置一实施例的侧剖面图。图2为该实施例之一部分予以放大而显示之剖面图。图3为显示该实施例之隔热板之平面图。图4为显示本发明碳膜所涂膜塑胶容器之一实施例的侧剖面图。图5为显示硬质碳膜之形成条件表。图6为显示依图5之条件所形成之硬质碳膜之膜厚等的评估结果表。图7为显示依图5之条件所形成之硬质碳膜之氧透过度等的评估结果表。图8为显示依图5之条件形成有硬质碳膜之塑胶容器之紫外可视领域内之透过光谱的图表。图9为显示依图5之条件所形成之硬质碳膜之拉曼光谱的图表。图10为显示硬质碳膜之其他形成条件表。图11为显示依图10之条件所形成之硬质碳膜之膜厚等的评估结果表。图12为显示依图10之条件所形成之硬质碳膜之氧透过度等的评估结果表。图13为显示硬质碳膜之再其他形成条件表。图14为显示依图13之条件所形成之硬质碳膜之膜厚等的评估结果表。图15为显示依图13之条件所形成之硬质碳膜之氧透过度等的评估结果表。图16为显示先前技术之剖面图。 |
