发明名称 连续处理装置
摘要 一连续处理装置能抗热震动(resists thermal shock)且量测气体以及正确转移被处理物件。在处理室1、2、3及4之间的分隔隔间6中推动被处理物件W,一推动力机构9藉着利用一小齿轮92交换齿条构件91来适宜的转移被处理物件W。这样的配置减少了在较重气压(severe atomsphere)中安装齿条构件91及小齿轮92的必要性。
申请公布号 TW493006 申请公布日期 2002.07.01
申请号 TW090101759 申请日期 2001.01.30
申请人 岛津美克德姆股份有限公司 发明人 中务荣治;三上欢二;加本克俊
分类号 C21D1/00 主分类号 C21D1/00
代理机构 代理人 洪澄文 台北巿信义路四段二七九号三楼
主权项 1.一种连续处理装置,藉由在复数处理室之间的推动力机构,一被处理物件可以自一处理室转移至下一处理室,其中该推动力机构包括:齿条构件,可在转移方向移动;一小齿轮,驱动该等齿条构件;及闭锁装置,选择地啮合该等齿条构件与该被处理物件;其中该等齿条构件不只是让该闭锁装置啮合或不啮合于该被处理物件,还在邻接的处理室交换该小齿轮让该被处理物件自一处理室转移至另一处理室。2.如申请专利范围第1项所述之连续处理装置,其中,该小齿轮同时啮合于该对齿条构件,接续不断重复的运转;当其中之一齿条构件向前移动来转移一被处理物件的时候,另一齿条构件向后移动为下一次的转移做准备,反之亦然。3.如申请专利范围第1项所述之连续处理装置,其中,该闭锁装置设置在沿着一被处理物件在该齿条构件上转移的方向的复数位置上。4.如申请专利范围第2项所述之连续处理装置,其中,该闭锁装置设置在沿着一被处理物件在该齿条构件上转移的方向的复数位置上。5.如先前申请专利范围第1.2.3或4项所述之连续处理装置,其中,该闭锁装置在沿着一被处理物件转移的方向的复数位置上啮合于该被处理物件。6.如申请专利范围第1项所述之连续处理装置,其中,该装置是设置成,每一个处理室可藉由一盖子来打开或关闭,当该盖子打开时,齿条构件可以沿着连接邻接处理室的该转移轨道移动,接着相反的操作可以环绕转动轴运转:(1)当该盖子打开时,它会移开至不会妨碍该转移轨道或齿条构件的位置;(2)当该盖子关闭时,该转移轨道及齿条构件会移开至不会妨碍该盖子的位置。7.如申请专利范围第6项所述之连续处理装置,其中,该盖子、该转移轨道及该齿条构件会利用一共用转动轴来安置及移开。8.如申请专利范围第7项所述之连续处理装置,其中,一杆放置在该转动轴内,以该杆上升或下降来打开或关闭该盖子。9.如申请专利范围第8项所述之连续处理装置,其中,该杆连接一小齿轮,且该杆在上升或下降时不会妨碍而仍可转动。图式简单说明:第1图系本发明之实施例之剖面图之一般图示;第2图系第1图实施例之特别放大图;第3图系第2图之配对图,操作图解;第4图系第2图之部分放大;第5图系齿条及周围之放大顶视图;第6图系第5图之实施例之部分剖面图;第7图系第5图之实施例之操作图解;第8图系第5图之实施例之操作图解;第9图系本发明之实施例之变化图;第10图系本发明之实施例之其他变化图;以及,第11图仍系本发明之实施例之其他变化图。
地址 日本