| 主权项 |
1.一种风箱总成(18),其包含: 一第一安装部分(56),位于该风箱总成之一末端处, 用于固定式地安装该风箱总成于一第一室(16); 一第二安装部分(52),位于该风箱总成之一相反末 端处,用于滑动地安装该风箱总成于一第二室(15); 以及 一风箱(54),位于该第一与第二安装部分之间,该风 箱大致地沿着一纵轴(64)延伸且可沿着该轴伸展及 收缩; 该第二安装部分(52)准许该风箱总成相对于该第二 室之径向可滑动移动于一实质垂直于该轴(64)之第 一平面中。2.如申请专利范围第1项之风箱总成(18) ,其中该风箱之内部提供一真空室以用于维持一真 空条件于第一与第二室之间,以及该第二安装部分 (54)含有一滑动密封物(84,86)供维持该真空用。3.如 申请专利范围第2项之风箱总成(18),其中该第一及 第二室系一离子植入系统(10)之组件。4.如申请专 利范围第2项之风箱总成(18),其中该滑动密封物(84, 86)含有至少一密封附属总成(80),各密封附属总成( 80)含一氟弹性体二聚物环(84)及一聚乙烯材料环(86 ),且其中当相较于该氟弹性体二聚物环之时,该聚 乙烯材料环系相当地不具弹性。5.如申请专利范 围第2项之风箱总成(18),其中该第一室(16)位于一平 行于该第一平面之第二平面中,且沿着该轴(64)绕 着一旋转点(62)相对于该第二室(15)而旋转。6.如申 请专利范围第2项之风箱总成(18),其中该风箱(60)系 由不锈钢所构成。7.如申请专利范围第4项之风箱 总成(18),其中该第二安装部分(52)尚含有一支撑环( 78)及一滑动板(82),位于该至少一密封附属总成(80) 之相对末端处,该滑动板(82)与该至少一密封附属 总成(80)提供一可滑动之匹配表面于其间。8.如申 请专利范围第7项之风箱总成(18),其中该至少一密 封附属总成(80)含有两个密封附属总成(80b,80c),以 及其中一由该等密封附属总成(80b,80c)、该支撑环( 78)及该滑动板(82)所界定之空间(92)系被抽气至次 大气压力(P2)。9.如申请专利范围第8项之风箱总成 (18),其中该两个密封附属总成(80b,80c)至少部分地 留在该支撑环(78)中之周边沟槽(88b,88c)之内,该等 周边沟槽之一(88b)配置有一肩部(89),该等环之一(86 b)静止抵顶着该肩部(89)。10.如申请专利范围第7项 之风箱总成(18),其中该至少一密封附属总成(80)含 有三个密封附属总成(80a,80b,80c),以及其中一第一 空间(92)及一第二空间(91)系抽气至次大气压力(P2), 该第一空间由该等密封附属线成(80b,80c),该支撑环 (78)及该滑动板(82)所界定,该第二空间则由该等密 封附属总成(80a,80b)、该支撑环(78)及该滑动板(82) 所界定。11.如申请专利范围第10项之风箱总成(18), 其中该三个密封附属总成(80a,80b,80c)至少部分地留 在该支撑环(78)中之周边沟槽(88a,88b,88c)之内,该等 周边沟槽之一(88b)配置有一肩部(89),该等环之一(86 b)静止抵顶着该肩部(89)。12.一种可滑动之风箱安 装物(52),用于可滑动地耦合一风箱总成于两真空 室之间,其中该风箱总成大致地沿着一纵向轴(64) 延伸,且可沿着该轴伸展及收缩,该安装物(52)包含: 一安装部分(52),位于该风箱总成之一末端,用于可 滑动地安装该风箱总成于一真空室(15)以准许该风 箱总成相对于该宜真空室(15)之径向可滑动之移动 于一实质垂直于该轴(64)之第一平面中,该安装部 分(52)含有一滑动密封物(84,86)供维持真空用。13. 如申请专利范围第12项之可滑动之风箱安装物(52), 其中该滑动密封物(84,86)含有至少一密封附属总成 (80),各密封附属总成(80)含一氟弹性体二聚物环(84) 及一聚乙烯材料环(86),且其中当相较于该氟弹性 体二聚物环之弹性时,该聚乙烯材料环系相当地不 具弹性。14.如申请专利范围第13项之可滑动之风 箱安装物(52),其中该至少一密封附属总成(80)含有 两个密封附属总成(80b,80c),以及其中一由该等密封 附属总成(80b,80c)、该支撑环(78)及该滑动板(82)所 界定之空间(92)系抽气到次大气压力(P2)。15.如申 请专利范围第14项之可滑动之风箱安装物(52),其中 该两个密封附层总成(80b,80c)至少部分地留在该支 撑环(78)中之周边沟槽(88b,88c)之内,该等周边沟槽 之一(88b)配置有一肩部(89),该等环之一(86b)静止抵 顶着该肩部(89)。16.如申请专利范围第13项之可滑 动之风箱安装物(52),其中该至少一密封附属总成( 80)含有三个密封附总成(80a,80b,80c),以及其中一第 一空间(92)及一第二空间(91)系抽气至次大气压力(P 2),该第一空间由该等密封附属总成(80b,80c)、该支 撑环(78)及该滑动板(82)所界定,该第二空间则由该 等密封附属总成(80a,80b)、该支撑环(78)及该滑动板 (82)所界定。17.如申请专利范围第16项之可滑动之 风箱安装物(52),其中该三个密封附属总成(80a,80b,80 c)至少部分地留在该支撑环(78)中之周边沟槽(88a,88 b,88c)之内,该等周边沟槽之一(88b)配置有一肩部(89) ,该等环之一(86b)静止抵顶着该肩部(89)。图式简单 说明: 第1图系一离子植入器之平面视图,其中结合本发 明改良之风箱; 第2图系第1图之离子植入器中所示之植入器的横 截面图; 第2a图系第2图之植入器风箱的可滑动密封总成之 扩大片断图;以及 第3图系取沿着第2图之线3-3所示之植入器风箱的 可滑动密封总成之支撑环的端视图。 |
