| 主权项 |
1.一种薄膜电晶体积体装置,其特征为具有: 与控制电极同时形成在基板上,以形成对上述基板 面成平行方向的电场,且分别呈梳形,并配置成互 相对向之第一电极及第二电极; 形成在上述控制电极、第一电极及第二电极上之 绝缘膜; 在上述控制电极上面隔着上述绝缘膜形成之半导 体层;以及 一对电极,其中的任一系连接于与上述半导体层共 同构成半导体元件之上述第一电极或第二电极。2 .如申请专利范围第1项之薄膜电晶体积体装置,其 中,对基板面成平行方向电场之形成区域两侧设有 :在控制电极侧之保持电容量用之配线,及位在其 相反侧而用于对第一电极或第二电极施加电压之 配线。3.申请专利范围第2项之膜电晶体积体装置, 其中,保持电容量用之配线和对第一电极或第二电 极施加电压之配线,系至少由一支第一电极或第二 电极电性连接者。4.一种薄膜电晶体积体装置之 制造方法,包括: 在基板上同时以相同材料形成控制电极、分别呈 梳形且配置成互相对向之第一电极及第二电极的 制程; 在上述控制电极、第一电极及第二电极上形成绝 缘膜之制程; 在上述控制电极上面隔着上述绝缘膜形成半导体 层之制程;以及 形成与上述半导体层共同构成半导体元件之一对 电极之制程。5.如申请专利范围第4项之薄膜电晶 体积体装置之制造方法,其中,保持电容量用之配 线系由与控制电极、第一电极及第二电极相同之 材料同时形成者。6.如申请专利范围第4或第5项之 薄膜电晶体积体装置之制造方法,其中,包含至少 对控制电极、第一电极或第二电极施加电压之配 线及保持电容量用之配线中之任一者被覆低电阻 材料之制程。7.一种液晶显示装置,其特征为具有: 透明绝缘性基板; 在上述透明绝缘性基板上形成如申请专利范围第1 项所记载之薄膜电晶体积体装置;以及 与上述透明绝缘性基板共同夹持液晶材料之对向 基板。图式简单说明: 第1图为本发明实施例1之薄膜电晶体积体装置俯 视图。 第2图为本发明实施例1之薄膜电晶体积体装置之 制程剖面图。 第3图为本发明实施例2之薄膜电晶体积体装置俯 视图。 第4图为本发明实施例3之薄膜电晶体积体装置俯 视图。 第5图为本发明实施例3之薄膜电晶体积体装置俯 视图。 第6图为本发明实施例4之薄膜电晶体积体装置俯 视图。 第7图为本发明实施例4之薄膜电晶体积体装置之 制程剖面图。 第8图为本发明实施例5之薄膜电晶体积体装置俯 视图。 第9图为本发明实施例5之薄膜电晶体积体装置剖 面图。 第10图为本发明实施例6之薄膜电晶体积体装置之 液晶面板剖面图。 第11图为以往此种液晶显示装置之液晶面板剖面 图。 第12图为以往此种液晶显示装置于显示时之局部 性电极间隔与面板透过率的测定结果之图表。 第13图为根据实验结果而整理电极宽度之变动量 与面板透过率变动量之关系所得之图表。 |
