发明名称 Hot wire chemical vapor deposition method and apparatus using graphite hot rods
摘要
申请公布号 AU2729201(A) 申请公布日期 2002.07.01
申请号 AU20010027292 申请日期 2000.12.18
申请人 ARUN MADAN 发明人 SCOTT MORRISON;JIANPING XI
分类号 C23C16/00;C23C16/24 主分类号 C23C16/00
代理机构 代理人
主权项
地址