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发明名称 METHOD AND SYSTEM FOR OPTICAL MEASUREMENTS
摘要
申请公布号 IL145698(D0) 申请公布日期 2002.06.30
申请号 IL20010145698 申请日期 2001.09.30
申请人 NOVA MEASURING INSTRUMENTS LTD. 发明人
分类号 G01N;(IPC1-7):G01N 主分类号 G01N
代理机构 代理人
主权项
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