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发明名称 Internal memeber of plasma processing container and method for preparing the same
摘要
申请公布号 KR100859955(B1) 申请公布日期 2008.10.06
申请号 KR20050033660 申请日期 2005.04.22
申请人 发明人
分类号 H01L21/02;H01L21/3065 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人
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