摘要 |
<p>Die vorliegende Erfindung betrifft einen Wirbelbettreaktor für die Herstellung von Trichlorsilan durch Umsetzung von Siliciumtetrachlorid, Wasserstoff und gegebenenfalls Chlorwasserstoff bei hohem Druck und hoher Temperatur, wobei der Wirbelbettreaktor mindestens auf der Seite, die dem Reaktiosraum zugewandt ist, aus einer Nickel-Chrom-Molybdän-(NiCrMo)-Legierung mit einem Chromanteil von mindestens 5 Gew.-%, einem Eisenanteil von weniger als 4 Gew.-% und einem zusätzlichen Anteil von 0 - 10 Gew.-% weiter Legierungselemente besteht, ein Verfahren zur Herstellung von Triclorsilan in diesem Wirbelbettreaktor und die Verwendung des Trichlorsilans.</p> |