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发明名称
Vorrichtung zum Einschmelzen einer festen Schicht aus elektrisch leitfähigem Material
摘要
申请公布号
DE4320766(C2)
申请公布日期
2002.06.27
申请号
DE19934320766
申请日期
1993.06.23
申请人
ALD VACUUM TECHNOLOGIES AG
发明人
BLUM, MATHIAS;CHOUDHURY, ALOK;FELLMANN, HANS-GUENTER;GOY, WILFRIED;HUGO, FRANZ;MUELLER, FELIX;SCHWARZ, WOLFGANG;WEISWEILER, HARDY
分类号
F27B14/18;B22D41/14;F27B14/06;F27D3/15;F27D11/06;(IPC1-7):C22B4/00;B22F9/08
主分类号
F27B14/18
代理机构
代理人
主权项
地址
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