| 发明名称 |
Verfahren zur Reinigung von Halbleiterscheiben mittels verflüssigter Gase |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE69523208(T2) |
申请公布日期 |
2002.06.27 |
| 申请号 |
DE1995623208T |
申请日期 |
1995.04.07 |
| 申请人 |
TEXAS INSTRUMENTS INC., DALLAS |
发明人 |
PARANJPE, AJIT P. |
| 分类号 |
B08B3/08;B08B3/12;B08B7/00;H01L21/304;H01L21/306;(IPC1-7):H01L21/306;B08B11/00;B08B7/04 |
主分类号 |
B08B3/08 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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