| 发明名称 |
Method of analyzing a semiconductor ingot |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
GB2324652(B) |
申请公布日期 |
2002.06.26 |
| 申请号 |
GB19980001252 |
申请日期 |
1998.01.22 |
| 申请人 |
* SAMSUNG ELECTRONICS COMPANY LIMITED |
发明人 |
JAE-GUN * PARK;SOO-YEOL * CHOI;GON-SUB * LEE;KYOO-CHUL * CHO |
| 分类号 |
G01N1/28;C30B29/06;C30B33/00;G01N33/00;H01L21/02;H01L21/322;H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/66 |
主分类号 |
G01N1/28 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
