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经营范围
发明名称
ELECTRON-OPTICAL LENS ARRANGEMENT WITH A DISPLACEABLE AXIS
摘要
申请公布号
EP1216483(A1)
申请公布日期
2002.06.26
申请号
EP20000965762
申请日期
2000.08.16
申请人
CEOS CORRECTED ELECTRON OPTICAL SYSTEMS GMBH
发明人
ROSE, HARALD;SCHMID, PETER;JANZEN, ROLAND
分类号
H01J37/12;H01J37/147;H01J37/30;H01J37/305;H01J37/317;H01L21/027;(IPC1-7):H01J37/30
主分类号
H01J37/12
代理机构
代理人
主权项
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