| 发明名称 |
Method for production of aqueous dispersion and use thereof |
| 摘要 |
Wäßrige Dispersion, enthaltend ein mittels Aerosol mit alkali-dotiertes, pyrogen hergestelltes Siliziumdioxid, wobei die durchschnittliche Teilchengröße in der Dispersion kleiner als 100 nm ist. Sie wird verwendet zum Polieren von Oberflächen (CMP).
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| 申请公布号 |
EP1216958(A2) |
申请公布日期 |
2002.06.26 |
| 申请号 |
EP20010130752 |
申请日期 |
2001.12.21 |
| 申请人 |
DEGUSSA AG |
发明人 |
MANGOLD, HELMUT, DR.;LORTZ, WOLFGANG, DR.;BATZ-SOHN, CHRISTOPH, DR.;PERLET, GABRIELE;WILL, WERNER |
| 分类号 |
A61K8/18;A61K8/25;A61Q1/02;C01B33/141;C01B33/18;C09C1/68;C09G1/02;C09K3/14;H01L21/304;H01L21/306;(IPC1-7):C01B33/141;D21H19/40;C03C17/25 |
主分类号 |
A61K8/18 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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