发明名称 |
Potassium doped pyrogenic oxide |
摘要 |
Mittels Aerosol mit Kalium dotierte pyrogen hergestellte Oxide von Metallen oder Metalloiden, wobei die Basiskomponente ein pyrogen hergestelltes Oxid ist, das mit Kalium von 0,000001 bis 20 Gew.-% dotiert ist, wobei die Dotierungsmenge vorzugsweise im Bereich von 1 bis 20.000 ppm liegt und die Dotierungskomponente ein Salz des Kaliums ist, wobei die BET-Oberfläche des dotierten Oxids zwischen 1 und 1000 m<2>/g liegt, die Breite der Teilchengrößenverteilung mindestens 0,7 beträgt. Die dotierten Oxide können als Poliermaterial (CMP-Anwendung) eingesetzt werden.
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申请公布号 |
EP1216956(A2) |
申请公布日期 |
2002.06.26 |
申请号 |
EP20010125293 |
申请日期 |
2001.10.25 |
申请人 |
DEGUSSA AG |
发明人 |
MANGOLD, HELMUT, DR.;LORTZ, WOLFGANG, DR.;GOLCHERT, RAINER;ROTH, HELMUT |
分类号 |
C01B13/20;C01B13/24;C01B33/18;C09C1/30;(IPC1-7):C01B13/34 |
主分类号 |
C01B13/20 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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