一种压力传感器及其平面复合差动方法

摘要

一种压力传感器及其平面复合差动方法属于传感器技术领域,主要解决传感器零压时上下电容间距很难保证一致、引线困难、被测介质与电容极板接触的问题,本发明包括带引压管的基座、带通道孔、双杯、双膜、双岛的基体、电容的上、下电极、上电极固定板;压力从引压管加入,经通道孔分流进入左杯和右杯,使双膜同时上移,推动双岛同时上移,改变两电容电极板的间距,使C₁+ΔC、C₂－ΔC,形成电容量的差动变化。

主权项

1、一种压力传感器，其特征在于，它包括带引压管(1)的基座(17)、带通道孔(2)、左杯(3)、膜(4)、岛(5)、膜(12)、岛(13)和右杯(14)的基体(18)、电容C1(15)的下电极(6)、电容C1 (15)的上电极(7)、电容C2(16)的上电极(10)、电容C2(16)的下电极(11)、电容C1(15)的上电极固定板(8)和电容C2(16)的上电极固定板(9)；电容C1(15)的上电极(7)与电容C1(15)的上电极固定板(8)连结，电容C1(15)的下电极(6)与岛(5)连结，电容C1(15)的上电极固定板(8)与基体(18)连结；电容C2(16)的上电极(10)与电容C2(16)的上电极固定板(9)连结，电容C2(16)的下电极(11)与基体(18)连结，电容C2 (16)的上电极固定板(9)与岛(13)连结；基体(18)与基座(17)连结。