发明名称 Multi-chamber processing apparatus
摘要
申请公布号 USD459254(S1) 申请公布日期 2002.06.25
申请号 US20000131294F 申请日期 2000.10.19
申请人 TOKYO ELECTRON LIMITED 发明人 HIROSE JUN;HIROSE EIJI;OZAWA JUN;HIROOKA TAKAAKI
分类号 主分类号
代理机构 代理人
主权项
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