| 发明名称 |
Scanning probe with digitised pulsed-force mode operation and real-time evaluation |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AU3169302(A) |
申请公布日期 |
2002.06.24 |
| 申请号 |
AU20020031693 |
申请日期 |
2001.12.12 |
| 申请人 |
WITEC WISSENSCHAFTLICHE INSTRUMENTE UND TECHNOLOGIE GMBH |
发明人 |
PETER SPIZIG;DETLEF SANCHEN;JORG FORSTNER;JOACHIM KOENEN;OTHMAR MARTI |
| 分类号 |
G01B7/34;G01N23/00;G01Q10/00;G01Q10/06;G01Q20/02;G01Q30/04;G01Q60/32;G01Q60/34;G21K7/00 |
主分类号 |
G01B7/34 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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