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发明名称 ATTACHING AND FIXING COMPONENTS TO MEMS TYPE STRUCTURES
摘要
申请公布号 CA2329546(A1) 申请公布日期 2002.06.22
申请号 CA20002329546 申请日期 2000.12.22
申请人 JDS UNIPHASE INC. 发明人 MUSK, ROBERT W.
分类号 B81C3/00;(IPC1-7):B81C3/00;B81C1/00 主分类号 B81C3/00
代理机构 代理人
主权项
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