| 摘要 |
본 발명은 간단한 구성으로 된 장치로써 도포액을 낭비함이 없이 기판(W) 위에 원형 혹은 환상 도포막을 형성하는 방법을 제공함을 목적으로 하여 된 것인데, 본 발명에 의하면 기판(W)을 수평으로 흡인유지하는 회전가능한 테이블(1)과, 이 테이블(1)에 대하여 승강가능하고, 또한 선단부에 토출구멍(10a)을 구비한 수평이동 가능한 노즐(10)로 구성되는 도포장치(A)를 사용하여, 상기 테이블(1)을 회전시킴과 동시에 상기 노즐(10)을 이 회전하는 테이블(1)에 대하여 소정의 높이로 유지한 상태에서 테이블(1)의 회전중심과 바깥쪽 소정 위치와의 사이의 소정 구간을 한 방향으로 이동시키면서 상기 토출구멍(10a)으로부터 도포액을 선(線) 상태로 상기 기판(W) 위에 공급함으로써 상 기판(W) 위에 원형 혹은 환상 도포막이 형성된다. |
