| 主权项 |
1.一种电浆超微粒子之制法,系将超微粒子制造所参与反应之金属,制成供电浆火炬用之热阴极,而与载流气体直接反应来提高超微粒子之纯度。2.依据申请专利范围第1项所述之电浆超微粒子之制法,包括调整并进给热阴极,以维持该热阴极之热分解端与电浆火炬阳极两者间的间隙。3.依据申请专利范围第2项所述之电浆超微粒子之制法,系侦测阳极与热阴极间之电压値变化而调整并进给热阴极。4.依据申请专利范围第1项所述之电浆超微粒子之制法,在电浆火炬之出口端内部形成一微反应室,并供应辅助反应气体至该微反应室中,加速热阴极与载流气体在高温下之微反应。5.依据申请专利范围第1项所述之电浆超微粒子之制法,系在微反应室进行微反应后,再进入与电浆火炬出口端毗邻之延迟反应冷却室,进行少量反应并冷却以形成超微粒子。6.一种供制超微粒子之电浆火炬,包括:一阴极承座,具有一热阴极套孔;一以参与反应之金属制成之热阴极,伸入该热阴极套孔中;一前段阳极密接于该阴极承座,具有一电浆喷出通道,及在该通道前缘之阳极电极部供该热阴极接近而放电;与一载流气体通道连通于该通道与热阴极套孔之交接处,供给反应所需之气体。7.依据申请专利范围第6项所述之供制造超微粒子之电浆火炬,还包括:一调节推进器,供该火炬在反应时推进该热阴极以补偿其损耗,并调节维持该热阴极与该阳极电极部之间的间隙。8.依据申请专利范围第7项所述之供制造超微粒子之电浆火炬,还包括:一电压检测装置供检测该热阴极与该阳极电极部之电压,并输送讯号供控制该调节推进器之动作。9.依据申请专利范围第7或8项所述之供制造微粒子之电浆火炬,其中该调节推进器系由一伺服马达驱动之齿轮与齿条之组合,而推进该热阴极。10.依据申请专利范围第6.7或8项所述之供制造超微粒子之电浆火炬,还包括:一后段阳极紧接于该前段阳极,该后段阳极具有一微反应室,并有一气体通道连通至该微反应室以供给辅助气体加速且提高反应效率。11.依据申请专利范围第9项所述之供制造超微粒子之电浆火炬,还包括:一后段阳极紧接于该前段阳极,该后段阳极具有一微反应室,并有一气体通道连通至该微反应室以供给辅助气体加速且提高反应效率。12.依据申请专利范围第6.7或8项所述之供制造超微粒子之电浆火炬,还包括:供冷却用之水套装置毗邻于该阴极承座与该前段阳极。13.依据申请专利范围第9项所述之供制造超微粒子之电浆火炬,还包括:供冷却用之水套装置毗邻于该阴极承座与该前段阳极。14.依据申请专利范围第10项所述之供制造超微粒子之电浆火炬,还包括:供冷却用之水套装置毗邻于该后段阳极。15.依据申请专利范围第11项所述之供制造超微粒子之电浆火炬,还包括:供冷却用之水套装置毗邻于该后段阳极。16.一种供制造超微粒子之电浆火炬,在该火炬之电浆出口端内部具有一微反应室,并有一气体通道连通于该微反应室,以供给辅助气体加速反应。图式简单说明:第1与2图分别是习有以电浆火炬来制造超微粒子的气流示意图。第3图是本案制法流程图。第4图是本案系统示意图。第5图是本案电浆火炬实施例之平面图。 |
