| 主权项 |
1.一种化学放大正型光阻组合物,其系在一有机溶 剂均匀溶液中包含: (A)以聚羟基苯乙烯为基底的树脂成分,其羟基系部 分地经取代以可与酸反应而解离之酸可解离取代 基;及 (B)放射线-敏感性酸产生化合物,其能经由放射线 照射而释放酸,其系选自重氮基甲烷化合物、硝基 基衍生物、磺酸酯类、盐类、安息香甲苯磺 醯酯化合物、含卤素的三化合物及含氰基的 酸磺酸酯化合物所组成之群, 成分(B)的含量以每100重量份作为成分(A)之树脂成 分计,系在0.5至30重量份之范围, 作为成分(A)之树脂成分为一组合物,其中包括(A1) 第一聚羟基苯乙烯树脂其一部分的羟基经取代以 酸可解离取代基,及(A2)第二聚羟基苯乙烯树脂其 一部分的羟基经取代以相同于第一聚羟基苯乙烯 树脂(A1)中的酸可解离取代基,其中(A1)中第一聚羟 基苯乙烯树脂之羟基部分的取代基取代程度,大于 (A2)中第二聚羟基苯乙烯树脂的取代程度,其限制 条件为在第一及第二聚羟基苯乙烯树脂(A1)及(A2) 中最大重量平均分子量Mwmax对最小重量平均分子 量Mwmin之比例系小于1.5。2.如申请专利范围第1项 之化学放大正型光阻组合物,其中在作为成分(A)之 树脂成分中经酸可解离取代基取代的部分的羟基 其总体取代度介于5至60%之间。3.如申请专利范围 第1项之化学放大正型光阻组合物,其中酸可解离 取代基系选自自由第三烷氧基羰基、第三烷基、 烷氧基烷基及环醚基团所组成的类群。4.如申请 专利范围第3项之化学放大正型光阻组合物,其中 酸可解离取代基系选自由第三丁氧基羰基、第三 丁基,四氢-喃基,四氢吷喃甲醯基、1-乙氧基-乙 基及1-甲氧基丙基所组成的类群。5.如申请专利范 围第1项之化学放大正型光阻组合物,其中作为成 分(A)之聚羟基苯乙烯为基底的树脂成分系包含10 至49莫耳%的羟基苯乙烯单位而在其羟基上经取代 而其取代基系选自第三烷氧基羰基基团、第三烷 基及环醚基团,10至49莫耳%的羟基苯乙烯单位而在 其羟基上经取代以烷氧基烷基,及2至80莫耳%的未 取代的羟基苯乙烯单位。6.如申请专利范围第5项 之化学放大正型光阻组合物,其中作为成分(A)之聚 羟基苯乙烯为基底的树脂成分系包含10至49莫耳% 的羟基苯乙烯单位而在其羟基上经取代而其取代 基系选自第三丁氧基羰基基团、第三丁基、四氢 喃基及四-氢吷喃甲醯基,10至49莫耳%的羟基苯乙 烯单位而在其羟基上经取代以1-乙氧基乙基基团 或1-甲氧基丙基,及2至80莫耳%的未取代的羟基苯乙 烯单位。7.如申请专利范围第1项之化学放大正型 光阻组合物,其中作为成分(A)之聚羟基苯乙烯为基 底的树脂成分为一组合物,其中包括(A1)第一聚羟 基苯乙烯树脂其30至60%的羟基经取代以酸可解离 取代基,及(A2)第二聚羟基苯乙烯树脂其5至20%的羟 基经取代以酸可解离取代基。8.如申请专利范围 第7项之化学放大正型光阻组合物,其中作为成分(A )之聚羟基苯乙烯为基底的树脂成分为包括第一及 第二聚羟基苯乙烯树脂(A1)及(A2)的组合物,两者之 重量比范围在1:9至9:1。9.如申请专利范围第7项之 化学放大正型光阻组合物,其中作为成分(A)之聚羟 基苯乙烯为基底的树脂成分为一组合物,其中包括 (A1)第一聚羟基苯乙烯树脂其35至60%的羟基经取代 以酸可解离取代基,及(A2)第二聚羟基苯乙烯树脂 其5至15%的羟基经取代以酸可解离取代基。10.如申 请专利范围第9项之化学放大正型光阻组合物,其 中作为成分(A)之聚羟基苯乙烯为基底的树脂成分 为包括第一及第二聚羟基苯乙烯树脂(A1)及(A2)的 组合物,两者之重量比范围在4:6至1:9。11.如申请专 利范围第7项之化学放大正型光阻组合物,其中作 为成分(A)之聚羟基苯乙烯为基底的树脂成分为一 组合物,其中包括(A1)第一聚羟基苯乙烯树脂其30至 60%的羟基经取代以第三丁氧基羰基,及(A2)第二聚 羟基苯乙烯树脂其5至20%的羟基经取代以第三丁氧 基羰基。12.如申请专利范围第7项之化学放大正型 光阻组合物,其中作为成分(A)之聚羟基苯乙烯为基 底的树脂成分为一组合物,其中包括(A1)第一聚羟 基苯乙烯树脂其30至60%的羟基经取代以四氢喃 基,及(A2)第二聚羟基苯乙烯树脂其5至20%的羟基经 取代以四氢喃基。13.如申请专利范围第7项之化 学放大正型光阻组合物,其中作为成分(A)之聚羟基 苯乙烯为基底的树脂成分为一组合物,其中包括(A1 )第一聚羟基苯乙烯树脂其30至60%的羟基经取代以1 -乙氧基乙基,及(A2)第二聚羟基苯乙烯树脂其5至20% 的羟基经取代以1-乙氧基乙基。14.如申请专利范 围第13项之化学放大正型光阻组合物,其中成份(A) 为一组合物,其中包含第一组合物:其中30至60%的羟 基经取代以第三丁氧基羰基之聚羟基苯乙烯树脂 与其中5至20%的羟基经取代以第三丁氧基羰基之聚 羟基苯乙烯而两者之重量比在1:9至9:1,及第二组合 物:其中30至60%的羟基经取代以1-乙氧基乙基之聚 羟基苯乙烯树脂与其中5至20%的羟基经取代以1-乙 氧基乙基之聚羟基苯乙烯树脂而两者之重量比在1 :9至9:1,第一组合物与第二组合物之重量比介于1:9 至9:1之间。15.如申请专利范围第13项之化学放大 正型光阻组合物,其中成分(A)为一组合物,其中包 含第一组合物:其中30至60%的羟基经取代以四氢 喃基之聚羟基苯乙烯树脂与其中5至20%的羟基经取 代以四氢喃基之聚羟基苯乙烯而两者之重量比 在1:9至9:1,及第二组合物:其中30至60%的羟基经取代 以1-乙氧基乙基之聚羟基苯乙烯树脂与其中5至20% 的羟基经取代以1-乙氧基乙基之聚羟基苯乙烯树 脂而两者之重量比在1:9至9:1,第一组合物与第二组 合物之重量比介于1:9至9:1之间。 |
