发明名称 SELF-ALIGNED METAL CAPS FOR INTERLEVEL METAL CONNECTIONS
摘要
申请公布号 KR20020047242(A) 申请公布日期 2002.06.21
申请号 KR1020027004891 申请日期 2002.04.17
申请人 发明人
分类号 H01L21/768 主分类号 H01L21/768
代理机构 代理人
主权项
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