| 摘要 |
본 발명은 팬 필터 유닛(32)의 출구에 균일하게 유속을 분배하기 전에 팬 송풍기(12)로부터 인출된 외부공기를 안내하고 확산하기 위한 대칭형 가이드들(25A, 25B) 및 배플들(26, 28)로 이루어진 시스템에 관한 것이다. 이러한 구성은 팬 필터 유닛(32) 내에서 소용돌이를 감소시키고 압력손실을 최소화할 뿐만 아니라 공기가 상기 시스템을 통해 방출될 때 공기의 균일한 분포를 유지하게 한다. 더욱이, 본 발명은 높이의 관점에서 팬 송풍기(12)의 크기에 실질적으로 유사한 크기로 구현된다. 따라서, 본 발명은 낮은 클린룸 천장높이에서조차도 팬 필터 유닛(32)의 잡음을 최소화한다. 마지막으로, 본 발명에 따른 가이드들(25A, 25B) 및 배플들(26, 28)은 상기 팬 송풍기(12)에 대하여 대칭적이고, 이것은 사용자의 편의에 따라 시계방향 또는 반 시계방향의 팬이 동일한 팬 필터 유닛(32)에 대해 사용되는 것을 가능케 해준다. |
