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发明名称 Poleringsoppslemming for kjemisk-mekanisk polering av silisiumdioksydfilmer
摘要
申请公布号 NO20016236(A) 申请公布日期 2002.06.21
申请号 NO20010006236 申请日期 2001.12.19
申请人 BAYER AG 发明人 VOGT, KRISTINA;PUPPE, LOTHAR;MIN, CHUN-KUO;CHEN, LI-MEI;LU, HSIN-HSEN
分类号 B24B37/00;B24B1/00;C09G1/02;C09G1/04;C09K3/14;H01L21/304;H01L21/3105;(IPC1-7):C09G1/02 主分类号 B24B37/00
代理机构 代理人
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