| 发明名称 |
LINEAR MOTOR AND ALIGNER USING THE SAME |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JP2002176761(A) |
申请公布日期 |
2002.06.21 |
| 申请号 |
JP20000374939 |
申请日期 |
2000.12.08 |
| 申请人 |
CANON INC |
发明人 |
EMOTO KEIJI;MIYAJIMA GIICHI;OUTSUKA KAZUHITO |
| 分类号 |
G03F7/20;H01L21/027;H01L21/677;H02K3/47;H02K41/02;H02K41/03;(IPC1-7):H02K41/02;H01L21/68 |
主分类号 |
G03F7/20 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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