发明名称 Mikro köprü yapisi
摘要 Bir ana madde üzerinde mikro köprü yapisinin imalatina yönelik metod. Bu metod, ana maddenin yüzey bölümünde gözden çikarilabilir bir materyalin saglanmasi, gözden çikarilabilir materyalin desenli olarak yakarak kazinmasi, gözden çikarilabilir materyalin bir yüzey bölümü üzerinde bir sensör materyalin olusturulmasi, sensör materyalin bir yüzey bölümü üzerinde bir mesnet materyalinin hazirlanmasi ve gözden çikarilabilir materyalin çikarilmasiyla mesnet materyalinin alt yüzeyinde sensör materyal ile, temelde tasiyici üzerinde serbest duracak sekilde birakilmasini kapsayan bir metod.
申请公布号 TR200200495(T2) 申请公布日期 2002.06.21
申请号 TR20020000495T 申请日期 2000.08.23
申请人 QINETIQ LIMITED 发明人 PETER JOHN GILLHAM;REX WATTON;CHARLES JOHN ALDERMAN
分类号 G01J1/02;G01J5/02;G01J5/20;G01J5/48;H01L27/14;H01L37/00;(IPC1-7):G01J5/20 主分类号 G01J1/02
代理机构 代理人
主权项
地址