摘要 |
Bir ana madde üzerinde mikro köprü yapisinin imalatina yönelik metod. Bu metod, ana maddenin yüzey bölümünde gözden çikarilabilir bir materyalin saglanmasi, gözden çikarilabilir materyalin desenli olarak yakarak kazinmasi, gözden çikarilabilir materyalin bir yüzey bölümü üzerinde bir sensör materyalin olusturulmasi, sensör materyalin bir yüzey bölümü üzerinde bir mesnet materyalinin hazirlanmasi ve gözden çikarilabilir materyalin çikarilmasiyla mesnet materyalinin alt yüzeyinde sensör materyal ile, temelde tasiyici üzerinde serbest duracak sekilde birakilmasini kapsayan bir metod.
|