| 发明名称 |
SUBSTRATE CONVEYANCE EQUIPMENT AND METHOD THEREFOR |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JP2002176091(A) |
申请公布日期 |
2002.06.21 |
| 申请号 |
JP20000373954 |
申请日期 |
2000.12.08 |
| 申请人 |
FUJI PHOTO FILM CO LTD;HITACHI INDUSTRIES CO LTD |
发明人 |
SUEHARA KAZUYOSHI;NAGATE HIROSHI;NUREDA KATSUHIKO;WATANABE KATSUYOSHI |
| 分类号 |
B65G49/06;B65G43/10;B65G47/30;B65G47/31;G02F1/13;H01L21/677;H01L21/68;H01L21/683;(IPC1-7):H01L21/68 |
主分类号 |
B65G49/06 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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