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发明名称
VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUM ZUFÜHREN VON VORLÄUFVERBINDUNGEN IN EINEN CVD - REAKTOR
摘要
申请公布号
DE69428710(T2)
申请公布日期
2002.06.20
申请号
DE19946028710T
申请日期
1994.07.08
申请人
CENTRE NATIONAL DE LA RECHERCHE SCIENTIFIQUE (CNRS), PARIS
发明人
SENATEUR, JEAN-PIERRE;MADAR, ROLAND;WEISS, FRANCOIS;THOMAS, OLIVIER;ABRUTIS, ADULFAS
分类号
B01D1/18;C23C16/448;(IPC1-7):C23C16/44
主分类号
B01D1/18
代理机构
代理人
主权项
地址
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