发明名称 Nichtflüchtiger Halbleiterspeicher und Verfahren zur Herstellung
摘要
申请公布号 DE69801612(T2) 申请公布日期 2002.06.20
申请号 DE19986001612T 申请日期 1998.05.14
申请人 SONY CORP., TOKIO/TOKYO 发明人 MACHIDA, AKIO;NAGASAWA, NAOMI;AMI, TAKAAKI;SUZUKI, MASAYUKI
分类号 C30B29/22;H01L21/314;H01L21/316;H01L21/8246;H01L27/105;H01L27/115;(IPC1-7):H01L27/115;H01L21/02 主分类号 C30B29/22
代理机构 代理人
主权项
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