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发明名称
HOCHENERGIE-IONIMPLANTIERUNGSVORRICHTUNG VOM SCHWACH -ODER MITTELSTROMTYP UND VERWENDUNG EINER SOLCHEN VORRICHTUNG
摘要
申请公布号
DE69524830(T2)
申请公布日期
2002.06.20
申请号
DE19956024830T
申请日期
1995.04.05
申请人
FRANCE TELECOM, PARIS
发明人
GROUILLET, ANDRE
分类号
C23C14/48;H01J27/16;H01J27/18;H01J37/317;H01L21/265;(IPC1-7):H01J27/18
主分类号
C23C14/48
代理机构
代理人
主权项
地址
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