| 摘要 |
웨이퍼 상의 신뢰성 결함을 검출하기 위한 방법 및 시스템이 제공된다. 하나의 방법은 검사 시스템에 의해서 생성된 웨이퍼에 대한 출력을 획득하는 단계를 포함한다. 상이한 다이들이 상이한 프로세스 조건들로 웨이퍼 상에 인쇄된다. 상이한 프로세스 조건들이 웨이퍼에 대한 상이한 이상 모드들에 대응한다. 그러한 방법은 또한 상이한 이상 모드들 중 제1 이상 모드에 대응하는 상이한 프로세스 조건들로 인쇄된 상이한 다이들 중 제1 다이에 대해서 생성된 출력을 상이한 이상 모드들 중 제1 이상 모드에 반대되는 상이한 이상 모드들 중 제2 이상 모드에 대응하는 상이한 프로세스 조건들로 인쇄된 상이한 다이들 중 제2 다이에 대해서 생성된 출력과 비교하는 단계를 포함한다. 또한, 그러한 방법은 비교 단계의 결과를 기초로 웨이퍼 상의 결함을 검출하는 단계를 포함한다. |
