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发明名称 Wafer-Träger
摘要
申请公布号 DE19731174(C2) 申请公布日期 2002.06.20
申请号 DE19971031174 申请日期 1997.07.10
申请人 FLUOROWARE, INC. 发明人 NYSETH, DAVID L.
分类号 B65D85/86;E21B7/00;E21B11/00;H01L21/673;(IPC1-7):B65D85/30;B65G49/07 主分类号 B65D85/86
代理机构 代理人
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