Einrichtung zum Temperieren von Mikrokomponenten

摘要

Bei einer Einrichtung zum Temperieren von Mikrokomponenten, insbesondere Mikroreaktoren, die vorzugsweise plattenförmig ausgebildet sind und vorzugsweise aus Silizium bestehen, wird mindestens eine Mikrokomponente in einer Halterung an ein Temperierelement gepreßt. Zwischen der Mikrokomponente und dem Temperierelement besteht eine flächige wärmeleitende Verbindung.