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发明名称
Verfahren und Vorrichtung zum Auftragen verschleissfester Beschichtungen mittels Hochvakuum-PVD
摘要
申请公布号
DE69615942(T2)
申请公布日期
2002.06.20
申请号
DE19966015942T
申请日期
1996.07.01
申请人
BERGMANN, ERICH
发明人
BERGMANN, ERICH
分类号
C23C14/24;C23C14/02;C23C14/54;C23C14/58;H01J37/32;(IPC1-7):C23C14/32;C23C14/56
主分类号
C23C14/24
代理机构
代理人
主权项
地址
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