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发明名称 CLEAN ROOM AND METHOD
摘要
申请公布号 EP1214485(A1) 申请公布日期 2002.06.19
申请号 EP20000953860 申请日期 2000.08.07
申请人 SPEEDFAM-IPEC INC. 发明人 RAPISARDA, JOSEPH;COLLEY, TIMOTHY
分类号 E04B5/43;E04B5/48;E04B9/02;E04F15/02;E04F15/024;E04H5/02;F24F3/16;F24F7/06;F24F7/10;(IPC1-7):E04F15/024 主分类号 E04B5/43
代理机构 代理人
主权项
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