发明名称 |
SILICON STRAIN GAGE HAVING A THIN LAYER OF HIGHLY CONDUCTIVE SILICON |
摘要 |
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申请公布号 |
EP1214744(A1) |
申请公布日期 |
2002.06.19 |
申请号 |
EP20000950526 |
申请日期 |
2000.07.21 |
申请人 |
MEASUREMENT SPECIALTIES, INC. |
发明人 |
GROSS, CHRIS |
分类号 |
G01L1/18;G01L1/22;(IPC1-7):H01L29/84 |
主分类号 |
G01L1/18 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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