发明名称 SILICON STRAIN GAGE HAVING A THIN LAYER OF HIGHLY CONDUCTIVE SILICON
摘要
申请公布号 EP1214744(A1) 申请公布日期 2002.06.19
申请号 EP20000950526 申请日期 2000.07.21
申请人 MEASUREMENT SPECIALTIES, INC. 发明人 GROSS, CHRIS
分类号 G01L1/18;G01L1/22;(IPC1-7):H01L29/84 主分类号 G01L1/18
代理机构 代理人
主权项
地址