静电致动的泵阵列

摘要

一种具有多个基本单元的中型泵,一种制造这种中型泵的方法,以及一种利用这种中型泵泵送流体的方法。每个单元具有一个形成一个空腔的主体,空腔具有一个上电极和一个下电极,每个电极具有一个朝向另一个电极的曲面。通过电连接可选择地为电极供能。一片双稳态膜片的主要部分位于电极之间的空腔内,并且膜片向上电极和下电极的曲面挠曲以便与其形状一致。一根横向导管位于主体的至少一端,以便与空腔内保持流体连通。横向导管与安装在主体上的膜片部分在操作上相连接,并且通过膜片的运动来开通或关断。一根位于至少一个曲面上的垂直导管通过膜片与垂直导管形成接触或脱离接触的运动而控制流体的流动。各单元互连在一起以便构成中型泵,电极的致动作用使得膜片在电极之间运动,从而使流体进出主体。优选的中型泵包括多个三单元组,以便使流体从流体源进入第一单元,通过垂直导管排向第二单元,通过横向导管排向第三单元,然后从其中排出,其中流体在电极的致动作用下从一个单元经过另一个单元。

主权项

1.一种具有多个基本单元的中型泵，每个所述单元包括：一个形成一个电极空腔的主体，所述电极空腔具有一个上电极和一个下电极，每个所述电极分别具有一个朝向另一个电极的曲面的曲面，以便形成所述空腔，所述主体包括可选择地为所述电极供能的电子致动装置；一片双稳态膜片，其安装在所述主体上并接地，并且具有一个位于所述曲面之间的所述空腔内的主要部分，所述膜片向所述上电极和下电极的曲面挠曲，以便与其形状一致；位于所述主体中的构成一个端导管的横向导管装置，所述横向导管装置与安装在所述主体上的所述膜片部分在操作上相连接，并且其位置使得可以通过所述膜片的运动来开通或关断，以便控制通过所述端导管的流体的流动；垂直导管装置，所述垂直导管装置与一个电极空腔的至少一个曲面在操作上相连接以便通过所述膜片与所述垂直导管装置形成接触或脱离接触的运动而控制通过其中的流体的流动；以及互连导管装置，用于连接所述单元与所述多个单元以便形成所述中型泵；由此，所述电极的致动作用使得所述膜片在所述电极的所述曲面之间运动，从而使流体进出所述主体。