发明名称 |
Surface passivation method and arrangement for measuring the lifetime of minority carriers in semiconductors |
摘要 |
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申请公布号 |
GB2370155(A) |
申请公布日期 |
2002.06.19 |
申请号 |
GB20010022713 |
申请日期 |
2001.02.15 |
申请人 |
* SEMILAB FELVEZETO FIZIKAI LABORATORIUM RT |
发明人 |
TIBOR * PAVELKA |
分类号 |
G01N22/00;G01R31/26;G01R31/265;H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/66 |
主分类号 |
G01N22/00 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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