发明名称 Surface passivation method and arrangement for measuring the lifetime of minority carriers in semiconductors
摘要
申请公布号 GB2370155(A) 申请公布日期 2002.06.19
申请号 GB20010022713 申请日期 2001.02.15
申请人 * SEMILAB FELVEZETO FIZIKAI LABORATORIUM RT 发明人 TIBOR * PAVELKA
分类号 G01N22/00;G01R31/26;G01R31/265;H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/66 主分类号 G01N22/00
代理机构 代理人
主权项
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